APA-Zitierstil (7. Ausg.)

Wu, B., & Kumar, A. (2009). Extreme ultraviolet lithography (First edition.). McGraw-Hill.

Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)

Wu, Banqiu, und Ajay Kumar. Extreme Ultraviolet Lithography. First edition. New York: McGraw-Hill, 2009.

MLA-Zitierstil (9. Ausg.)

Wu, Banqiu, und Ajay Kumar. Extreme Ultraviolet Lithography. First edition. McGraw-Hill, 2009.