Principles of microelectromechanical systems
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | |
| Язык: | English |
| Опубликовано: |
Hoboken, N.J.
Wiley
c2011.
|
| Предметы: |
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | |
| Язык: | English |
| Опубликовано: |
Hoboken, N.J.
Wiley
c2011.
|
| Предметы: |