Foundations of MEMS

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Liu, Chang
التنسيق:	كتاب
اللغة:	English
منشور في:	Upper Saddle River, N.J. Pearson Prentice Hall c2012.
الموضوعات:	Microelectromechanical systems.