Chemistry and lithography

Dades bibliogràfiques
Autor principal:	Okoroanyanwu, Uzodinma
Autor corporatiu:	Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
Format:	Llibre
Idioma:	English
Publicat:	Bellingham, Wash. SPIE Press 2010.
Matèries:	Lithography. Chemistry, Technical.