Chemical vapor deposition thermal and plasma deposition of electronic materials

গ্রন্থ-পঞ্জীর বিবরন
প্রধান লেখক:	Sivaram, S.
বিন্যাস:	গ্রন্থ
ভাষা:	English
প্রকাশিত:	New York Van Nostrand Reinhold c1995.
বিষয়গুলি:	Microelectronics industry. Chemical vapor deposition. Microelectronics > Materials.