MEMS introduction and fundamentals

Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Gad-el-Hak, Mohamed 1945-
Format:	Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Boca Raton, Fla. CRC/Taylor & Francis c2006.
Ausgabe:	2nd ed.
Schlagworte:	Microelectromechanical systems. Microelectronics. Nanotechnology.