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MEMS applications

書目詳細資料
其他作者: Gad-el-Hak, Mohamed 1945-
格式: 圖書
語言:英语
出版: Boca Raton, Fla. CRC Press/Taylor & Francis c2006.
版:2nd ed.
主題:
Microelectromechanical systems.
Detectors.
Microactuators.
Robots.