MEMS applications

Podrobná bibliografie
Další autoři:	Gad-el-Hak, Mohamed 1945-
Médium:	Kniha
Jazyk:	English
Vydáno:	Boca Raton, Fla. CRC Press/Taylor & Francis c2006.
Vydání:	2nd ed.
Témata:	Microelectromechanical systems. Detectors. Microactuators. Robots.