Handbook of chemical vapor deposition (CVD) principles, technology, and applications.
| מחבר ראשי: | |
|---|---|
| פורמט: | ספר |
| שפה: | English |
| יצא לאור: |
Park Ridge, N.J., U.S.A.
Noyes Publications
1992.
|
| נושאים: | |
| גישה מקוונת: | Also available online for University of the Philippines Diliman via ScienceDirect. Click here to access |


