Thermal stability study on titanium disilicide (TiSi2) thin films with titanium nitride (TiN) capping

Thermal stability study on titanium disilicide (TiSi2) thin films with titanium nitride (TiN) capping

Chi tiết về thư mục
Tác giả chính: Venezuela, Jeffrey De Guzman
Định dạng: Luận văn
Ngôn ngữ:English
Được phát hành: 2003.
Những chủ đề:
Titanium compounds > Thermal properties.
Silicon compounds > Thermal properties.
Titanium nitride.
Thin films > Testing.