Thermal stability study on titanium disilicide (TiSi2) thin films with titanium nitride (TiN) capping

Thermal stability study on titanium disilicide (TiSi2) thin films with titanium nitride (TiN) capping

Bibliografiset tiedot
Päätekijä: Venezuela, Jeffrey De Guzman
Aineistotyyppi: Opinnäyte
Kieli:English
Julkaistu: 2003.
Aiheet:
Titanium compounds > Thermal properties.
Silicon compounds > Thermal properties.
Titanium nitride.
Thin films > Testing.