Thermal stability study on titanium disilicide (TiSi2) thin films with titanium nitride (TiN) capping

Thermal stability study on titanium disilicide (TiSi2) thin films with titanium nitride (TiN) capping

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Venezuela, Jeffrey De Guzman
Μορφή: Thesis
Γλώσσα:English
Έκδοση: 2003.
Θέματα:
Titanium compounds > Thermal properties.
Silicon compounds > Thermal properties.
Titanium nitride.
Thin films > Testing.