Thermal stability study on titanium disilicide (TiSi2) thin films with titanium nitride (TiN) capping

Thermal stability study on titanium disilicide (TiSi2) thin films with titanium nitride (TiN) capping

গ্রন্থ-পঞ্জীর বিবরন
প্রধান লেখক: Venezuela, Jeffrey De Guzman
বিন্যাস: গবেষণাপত্র
ভাষা:English
প্রকাশিত: 2003.
বিষয়গুলি:
Titanium compounds > Thermal properties.
Silicon compounds > Thermal properties.
Titanium nitride.
Thin films > Testing.