صورة الغلاف

Thermal stability study on titanium disilicide (TiSi2) thin films with titanium nitride (TiN) capping

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Venezuela, Jeffrey De Guzman
التنسيق: أطروحة
اللغة:الإنجليزية
منشور في: 2003.
الموضوعات:
Titanium compounds > Thermal properties.
Silicon compounds > Thermal properties.
Titanium nitride.
Thin films > Testing.