Characteristics of a plasma sputter-type negative ion source with a zirconium target

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman:	Mendenilla, Alexander G.
Materialtyp:	Lärdomsprov
Språk:	English
Publicerad:	2000.
Ämnen:	Anions. Ion bombardment. Plasma (Ionized gases). Zirconium.