Characteristics of a plasma sputter-type negative ion source with a zirconium target

Bibliografiset tiedot
Päätekijä:	Mendenilla, Alexander G.
Aineistotyyppi:	Opinnäyte
Kieli:	English
Julkaistu:	2000.
Aiheet:	Anions. Ion bombardment. Plasma (Ionized gases). Zirconium.