Characteristics of a plasma sputter-type negative ion source with a zirconium target

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Mendenilla, Alexander G.
Format:	Abschlussarbeit
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2000.
Schlagworte:	Anions. Ion bombardment. Plasma (Ionized gases). Zirconium.