Rapid thermal processing of semiconductors

Detaylı Bibliyografya
Yazar:	Borisenko, V. E. (Viktor Evgen'evich)
Diğer Yazarlar:	Hesketh, P. J. (Peter J.)
Materyal Türü:	Kitap
Dil:	English
Baskı/Yayın Bilgisi:	New York Plenum Press c1997.
Konular:	Rapid thermal processing. Semiconductors > Design and construction.