Rapid thermal processing of semiconductors

Rapid thermal processing of semiconductors

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman: Borisenko, V. E. (Viktor Evgen'evich)
Övriga upphovsmän: Hesketh, P. J. (Peter J.)
Materialtyp: Bok
Språk:English
Publicerad: New York Plenum Press c1997.
Ämnen:
Rapid thermal processing.
Semiconductors > Design and construction.