Rapid thermal processing of semiconductors

Dades bibliogràfiques
Autor principal:	Borisenko, V. E. (Viktor Evgen'evich)
Altres autors:	Hesketh, P. J. (Peter J.)
Format:	Llibre
Idioma:	English
Publicat:	New York Plenum Press c1997.
Matèries:	Rapid thermal processing. Semiconductors > Design and construction.