Handbook of sputter deposition technology principles, technology, and applications

Handbook of sputter deposition technology principles, technology, and applications

Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Wasa, Kiyotaka
Další autoři: Hayakawa, Shigeru 1925-
Médium: Kniha
Jazyk:English
Vydáno: Park Ridge, N.J. Noyes Publications c1992.
Témata:
Cathode sputtering (Plating process) > Handbooks, manuals, etc.
Thin films > Handbooks, manuals, etc.