Handbook of sputter deposition technology principles, technology, and applications

Handbook of sputter deposition technology principles, technology, and applications

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Wasa, Kiyotaka
مؤلفون آخرون: Hayakawa, Shigeru 1925-
التنسيق: كتاب
اللغة:English
منشور في: Park Ridge, N.J. Noyes Publications c1992.
الموضوعات:
Cathode sputtering (Plating process) > Handbooks, manuals, etc.
Thin films > Handbooks, manuals, etc.