Handbook of sputter deposition technology principles, technology, and applications

Handbook of sputter deposition technology principles, technology, and applications

Opis bibliograficzny
1. autor: Wasa, Kiyotaka
Kolejni autorzy: Hayakawa, Shigeru 1925-
Format: Książka
Język:English
Wydane: Park Ridge, N.J. Noyes Publications c1992.
Hasła przedmiotowe:
Cathode sputtering (Plating process) > Handbooks, manuals, etc.
Thin films > Handbooks, manuals, etc.