Handbook of sputter deposition technology principles, technology, and applications

Handbook of sputter deposition technology principles, technology, and applications

Bibliografiset tiedot
Päätekijä: Wasa, Kiyotaka
Muut tekijät: Hayakawa, Shigeru 1925-
Aineistotyyppi: Kirja
Kieli:English
Julkaistu: Park Ridge, N.J. Noyes Publications c1992.
Aiheet:
Cathode sputtering (Plating process) > Handbooks, manuals, etc.
Thin films > Handbooks, manuals, etc.