Chemical vapor deposition for microelectronics principles, technology, and applications
| מחבר ראשי: | |
|---|---|
| פורמט: | ספר |
| שפה: | English |
| יצא לאור: |
Park Ridge, N.J.
Noyes
c1987.
|
| נושאים: |
| מחבר ראשי: | |
|---|---|
| פורמט: | ספר |
| שפה: | English |
| יצא לאור: |
Park Ridge, N.J.
Noyes
c1987.
|
| נושאים: |