Chemical vapor deposition for microelectronics principles, technology, and applications
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Médium: | Kniha |
| Jazyk: | English |
| Vydáno: |
Park Ridge, N.J.
Noyes
c1987.
|
| Témata: |
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Médium: | Kniha |
| Jazyk: | English |
| Vydáno: |
Park Ridge, N.J.
Noyes
c1987.
|
| Témata: |