Ohmi, T. (1993). Ultraclean technology handbook. Marcel Dekker.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Ohmi, Tadahiro. Ultraclean Technology Handbook. New York: Marcel Dekker, 1993.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Ohmi, Tadahiro. Ultraclean Technology Handbook. Marcel Dekker, 1993.
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