Ohmi, T. (1993). Ultraclean technology handbook. Marcel Dekker.
Dyfyniad Arddull ChicagoOhmi, Tadahiro. Ultraclean Technology Handbook. New York: Marcel Dekker, 1993.
Dyfyniad MLAOhmi, Tadahiro. Ultraclean Technology Handbook. Marcel Dekker, 1993.
Rhybudd: Mae'n bosib nad yw'r dyfyniadau hyn bob amser yn 100% cywir.