Electron beam testing technology

التفاصيل البيبلوغرافية
مؤلفون آخرون:	Thong, John T. L.
التنسيق:	كتاب
اللغة:	English
منشور في:	New York Plenum Press c1993.
الموضوعات:	Electron beams > Industrial applications. Scanning electron microscopes. Semiconductors > Testing.