Fundamental aspects of silicon oxidation

Fundamental aspects of silicon oxidation

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Άλλοι συγγραφείς: Chabal, Yves Jean 1952-
Μορφή: Βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: Berlin Springer c2001.
Σειρά:Springer series in materials science 46
Θέματα:
Silicon oxide.