Fundamental aspects of silicon oxidation

Fundamental aspects of silicon oxidation

מידע ביבליוגרפי
מחברים אחרים: Chabal, Yves Jean 1952-
פורמט: ספר
שפה:English
יצא לאור: Berlin Springer c2001.
סדרה:Springer series in materials science 46
נושאים:
Silicon oxide.