Hsu, T. (2002). MEMS & microsystems: Design and manufacture. McGraw-Hill.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Hsu, Tai-Ran. MEMS & Microsystems: Design and Manufacture. Boston: McGraw-Hill, 2002.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Hsu, Tai-Ran. MEMS & Microsystems: Design and Manufacture. McGraw-Hill, 2002.
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