Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication
| Altres autors: | |
|---|---|
| Format: | Llibre |
| Idioma: | English |
| Publicat: |
Bellingham, Wash.
SPIE Optical Engineering Press
c1997.
|
| Col·lecció: | SPIE Press monograph
PM39-PM40--IEE materials and devices series 12A-12B |
| Matèries: |