Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication
| অন্যান্য লেখক: | |
|---|---|
| বিন্যাস: | গ্রন্থ |
| ভাষা: | English |
| প্রকাশিত: |
Bellingham, Wash.
SPIE Optical Engineering Press
c1997.
|
| মালা: | SPIE Press monograph
PM39-PM40--IEE materials and devices series 12A-12B |
| বিষয়গুলি: |