Rai-Choudhury, P. (1997). Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication. SPIE Optical Engineering Press.
Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)Rai-Choudhury, P. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Bellingham, Wash: SPIE Optical Engineering Press, 1997.
Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 9)Rai-Choudhury, P. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. SPIE Optical Engineering Press, 1997.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.