Rai-Choudhury, P. (1997). Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication. SPIE Optical Engineering Press.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Rai-Choudhury, P. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Bellingham, Wash: SPIE Optical Engineering Press, 1997.
Цитирование MLA (9-е изд.)Rai-Choudhury, P. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. SPIE Optical Engineering Press, 1997.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.