Rai-Choudhury, P. (1997). Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication. SPIE Optical Engineering Press.
Cytowanie według stylu Chicago (wyd. 17)Rai-Choudhury, P. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Bellingham, Wash: SPIE Optical Engineering Press, 1997.
Cytowanie według stylu MLA (wyd. 9)Rai-Choudhury, P. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. SPIE Optical Engineering Press, 1997.
Uwaga: Te cytaty mogą odróżniać się od wytycznej twojego fakultetu..