Rai-Choudhury, P. (1997). Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication. SPIE Optical Engineering Press.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Rai-Choudhury, P. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Bellingham, Wash: SPIE Optical Engineering Press, 1997.
Παραπομπή σε μορφή MLA (9th εκδ.)Rai-Choudhury, P. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. SPIE Optical Engineering Press, 1997.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.