توثيق جمعية علم النفس الأمريكية APA (الطبعة السابعة)

(1998). Semiconductor micromachining. Wiley.

توثيق أسلوب شيكاغو (الطبعة السابعة عشر)

Semiconductor Micromachining. Chichester [Eng.]: Wiley, 1998.

توثيق جمعية اللغة المعاصرة MLA (الإصدار التاسع)

Semiconductor Micromachining. Wiley, 1998.

تحذير: قد لا تكون هذه الاستشهادات دائما دقيقة بنسبة 100%.