Plummer, J. D., & Griffin, P. B. (2023). Integrated circuit fabrication: Science and technology. Cambridge University Press. https://doi.org/10.1017/9781009303606
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Plummer, James D., и Peter B. Griffin. Integrated Circuit Fabrication: Science and Technology. New York: Cambridge University Press, 2023. https://doi.org/10.1017/9781009303606.
Цитирование MLA (9-е изд.)Plummer, James D., и Peter B. Griffin. Integrated Circuit Fabrication: Science and Technology. Cambridge University Press, 2023. https://doi.org/10.1017/9781009303606.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.