Plummer, J. D., & Griffin, P. B. (2023). Integrated circuit fabrication: Science and technology. Cambridge University Press. https://doi.org/10.1017/9781009303606
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Plummer, James D., und Peter B. Griffin. Integrated Circuit Fabrication: Science and Technology. New York: Cambridge University Press, 2023. https://doi.org/10.1017/9781009303606.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Plummer, James D., und Peter B. Griffin. Integrated Circuit Fabrication: Science and Technology. Cambridge University Press, 2023. https://doi.org/10.1017/9781009303606.
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