Electrostatic energy analyzer measurements of low energy zirconium beam parameters in a plasma sputter-type negative ion source
| Autores principales: | , , , |
|---|---|
| Formato: | Analytics |
| Lenguaje: | inglés |
| Publicado: |
2012.
|
| Acceso en línea: | http://dx.doi.org/10.1063/1.3665966 |