Electrostatic energy analyzer measurements of low energy zirconium beam parameters in a plasma sputter-type negative ion source

Electrostatic energy analyzer measurements of low energy zirconium beam parameters in a plasma sputter-type negative ion source

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Malapit, Giovanni M. (VerfasserIn), Mahinay, Christian Lorenz S. (VerfasserIn), Poral, Matthew D. (VerfasserIn), Ramos, Henry J. (VerfasserIn)
Format: Analytics
Sprache:English
Veröffentlicht: 2012.
Online Zugang:http://dx.doi.org/10.1063/1.3665966