Electrostatic energy analyzer measurements of low energy zirconium beam parameters in a plasma sputter-type negative ion source

Podrobná bibliografie
Hlavní autoři: Malapit, Giovanni M. (Autor), Mahinay, Christian Lorenz S. (Autor), Poral, Matthew D. (Autor), Ramos, Henry J. (Autor)
Médium: Analytics
Jazyk:English
Vydáno: 2012.
On-line přístup:http://dx.doi.org/10.1063/1.3665966