Characteristics of TiAlSiN thin films grown using the magnetized sheet plasma system
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Muut tekijät: | |
| Aineistotyyppi: | Opinnäyte |
| Kieli: | English |
| Julkaistu: |
Quezon City
College of Engineering, University of the Philippines Diliman
2020.
|
| Aiheet: | |
| Linkit: | Abstract |