Thermal stability study on titanium disilicide (tisi2) thin films with titanium nitride (tin) capping using atomic force microscopy
| Yayımlandı: | Philippine Engineering Journal Vol. 23, no. 2 (2002), 49-62 |
|---|---|
| Yazar: | |
| Diğer Yazarlar: | |
| Materyal Türü: | Makale |
| Dil: | English |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
2002
|
| Konular: |