Thermal stability study on titanium disilicide (tisi2) thin films with titanium nitride (tin) capping using atomic force microscopy
| Vydáno v: | Philippine Engineering Journal Vol. 23, no. 2 (2002), 49-62 |
|---|---|
| Hlavní autor: | |
| Další autoři: | |
| Médium: | Článek |
| Jazyk: | English |
| Vydáno: |
2002
|
| Témata: |