Thermal stability study on titanium disilicide (tisi2) thin films with titanium nitride (tin) capping using atomic force microscopy
| Pubblicato in: | Philippine Engineering Journal Vol. 23, no. 2 (2002), 49-62 |
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| Autore principale: | |
| Altri autori: | |
| Natura: | Articolo |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
2002
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| Soggetti: |