Silicon nitride (SiNxHy) by plasma-enhanced chemical vapor deposition
| 發表在: | Science Diliman Vol. 13, no. 2 (Jul. 2001 - Dec. 2001), 26-28 |
|---|---|
| 主要作者: | |
| 其他作者: | , |
| 格式: | Article |
| 語言: | English |
| 出版: |
2001
|
| 主題: |
| 發表在: | Science Diliman Vol. 13, no. 2 (Jul. 2001 - Dec. 2001), 26-28 |
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| 主要作者: | |
| 其他作者: | , |
| 格式: | Article |
| 語言: | English |
| 出版: |
2001
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| 主題: |