Silicon nitride (SiNxHy) by plasma-enhanced chemical vapor deposition
| Xuất bản năm: | Science Diliman Vol. 13, no. 2 (Jul. 2001 - Dec. 2001), 26-28 |
|---|---|
| Tác giả chính: | |
| Tác giả khác: | , |
| Định dạng: | Bài viết |
| Ngôn ngữ: | English |
| Được phát hành: |
2001
|
| Những chủ đề: |