Silicon nitride (SiNxHy) by plasma-enhanced chemical vapor deposition
| Опубликовано в:: | Science Diliman Vol. 13, no. 2 (Jul. 2001 - Dec. 2001), 26-28 |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Другие авторы: | , |
| Формат: | Статья |
| Язык: | English |
| Опубликовано: |
2001
|
| Предметы: |